集成電路照排平臺高精度定位傳感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺必須非常精確地處于焦點平面（次原子級）。凱盟系統(tǒng)精確測量Z軸平臺的位置（如圖）并輸出模擬信號（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。 <br />主要指標(biāo)： <br />測量對象：鋁 <br />量程起點：0.25mm <br />量程：25&micro;m <br />非線性：±1％ <br />分辨率：<25x10^-11M <br />靈敏度：0.4V/&micro;m <br />電源：+12～+30V，15MA/每通道 <br />頻響：0－10KHZ <br />輸出：0-10V <br />溫漂：<0.5&micro;m/℃ <br />欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息，請訪問真尚有公司網(wǎng)站www.51sensors.com <br /><br />