半導體圓晶片化學氣相沉積定位控制傳感器

在沉積（CVD）開始前，凱盟SMU-9000測量傳感器系統先保證支撐晶片的平面與分散加工氣體的噴射頭平行。傳感器用于保證平面的位置在規定范圍內。凱盟系統提供模擬輸出（或可選的數字接口），如果平面傾斜，調節器就可將其調平。 <br />特點： <br />通過化學氣相沉積（CVD）給硅晶片上一層均勻的薄膜 <br />保證晶片上的化學層均勻沉積 <br />直接測量：安裝于浮動平面的傳感器環可直接測量噴射頭的位置 <br />非接觸高分辨率：1納米 <br />通用：系統有大量傳感器選件 <br />欲了解更多關于產品的信息，請訪問真尚有公司網站 www.51sensors.com <br />