產品介紹
inficon 375-001 CDG025D 是一款具備溫度補償功能的電容壓力計，專為在惡劣制造環境中實現穩定測量而設計。其核心組件采用超純陶瓷傳感器，具備抗腐蝕特性，能在包括大氣壓沖擊在內的數百萬次壓力循環中保持良好的零點穩定性，延長設備的使用壽命。獨特的傳感器屏蔽設計可減少過程污染對測量的影響，配合堅固的機械結構與先進的數字電子元件，提升了設備的電磁兼容性、長期穩定性及溫度補償效果。該壓力計在開機后能快速達到穩定狀態，且從大氣壓暴露中恢復的速度較快，適應工業場景中頻繁啟停或壓力波動的情況。
功能特點
該壓力計的全量程為 1000 Torr，可滿足中高壓力范圍的測量需求。憑借溫度補償設計，其在不同溫度環境下的測量精度得以保障，減少了溫度變化對結果的影響。設備配備一鍵調零功能，操作簡便，便于用戶快速校準零點，確保測量基準的準確性。數字電子元件的應用不僅優化了整體性能，還增強了設備對電磁干擾的抵抗能力，適合在復雜的工業電磁環境中使用。抗腐蝕的陶瓷傳感器與防污染設計，使其能在存在腐蝕性介質或粉塵的環境中保持穩定運行，降低因污染導致的性能衰減風險。此外，其寬范圍電源供應設計提升了在不同供電條件下的適用性，為多樣化的工業場景提供支持。
選型指南
選型時，首先需明確所需的壓力測量范圍。inficon 375-001 CDG025D 的全量程為 1000 Torr，若實際應用中壓力范圍與此不符，可參考同系列其他型號，選擇更貼合需求的量程（如 100 Torr、10 Torr 等）。其次，需根據設備連接需求選擇法蘭類型，該型號采用 DN 16 ISO-KF 法蘭，若系統接口為 1/2 英寸管、DN 16 CF-R 或 8 VCR，則需對應選擇同系列中其他法蘭類型的型號。
技術參數
inficon 375-001 CDG025D 的全量程為 1000 Torr，對應 1333 mbar（133322 Pascal）。設備具備溫度補償功能，能在一定溫度范圍內減少環境溫度對測量結果的影響。在 25℃環境溫度下，經過兩小時運行后，其非線性、滯后性和重復性誤差控制在一定范圍內，確保測量精度。設備采用 DN 16 ISO-KF 法蘭接口，適應相應的管路連接需求。寬范圍電源供應設計使其能在不同供電條件下穩定工作，數字電子元件的集成提升了整體運行的穩定性與抗干擾能力。
產品尺寸
該壓力計的尺寸設計兼顧了測量性能與安裝便利性，整體結構緊湊，適合在空間有限的工業設備中安裝。
應用領域

inficon 375-001 CDG025D 電容壓力計適用于多種工業場景的壓力測量。在半導體制造中，可用于刻蝕（Etch）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）等設備的壓力監測；在數據存儲與顯示設備制造過程中，為相關真空環節提供壓力測量支持；同時，也可應用于工業真空設備及其他需要高精度壓力測量的場景，為生產過程的穩定運行提供數據依據。