半導(dǎo)體圓晶片刻線顯微鏡聚焦系統(tǒng)用電渦流位移傳感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9200組成。 <br />主要指標(biāo)： <br />測(cè)量對(duì)象：鋁 <br />量程起點(diǎn)：0.625mm <br />量程：±0.25mm <br />非線性：±1％ <br />分辨率：<5x10^-9M <br />靈敏度：10V/mm <br />電源：+6～＋30V，15MA/每通道 <br />頻響：0－10KHZ <br />輸出：±2.5V <br />溫漂：0.25&micro;m/℃ <br />欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息，請(qǐng)?jiān)L問真尚有公司網(wǎng)站www.51sensors.com <br />