ATOP六寸廠晶圓追蹤系統方案介紹

原本采用的晶圓架如下圖

A、目前FEB中有很多這樣的架子，操作人員操作好一個動作后，會隨便找一個架子，存放晶圓盒。等下次要用到的時候，已經忘記自己把晶圓盒放到哪里了，就需要找，就像大海撈針一樣。不僅浪費時間而且容易搞錯。

B、目前使用的晶圓架為6層，而且每層的深度可以放2個Box,每層可以放5排則每層最多可以放10個Box

C、每個晶圓盒上會有一個條碼，表示Lot number

通過系統能夠快速找到晶圓盒

1、因為貨架上晶圓盒擺放是一層放10個，且為兩排，并目前擺放是隨意性的。要想定位到每個晶圓盒比較困難，而且投入比較高。所以建議定位到每個貨架，然后操作人員再通過LotNumber尋找到正確的晶圓盒

2、貨架改造圖

3、流程介紹

A、放入晶圓盒：操作人員在擺放晶圓盒前，先通過貨架上的條碼掃描器掃描LotNumber, 數據顯示終端上會顯示該LotNumber（表示條碼已經正確讀取）,然后將其放在貨架的任一位置。條碼數據通過數據顯示終端的網絡接口傳送到后臺數據庫，系統中存有數據顯示終端對應得貨架名，從而系統知道該晶圓盒擺放到了那個貨架上面。

B、 拿出晶圓盒：操作人員要拿出晶圓盒時，可通過FEB的任一PC終端查詢該晶圓盒位置，查詢到該晶圓盒所在的貨架后，去該貨架按照LotNumberr尋找到正確的晶圓盒，再在掃描器上掃描一下條碼，告訴系統該晶圓盒已經拿走。數據顯示終端也會顯示該LotNumber,讓操作人員再次確認是否拿的正確。

4、系統硬件需求及連接圖

A、數據顯示終端------DT4000

DT4000介紹：

直接連接以太網絡,100Mbps通訊速率更快更穩定

全角模式：16x16點陣 15 字符x4 行英數字及中文（簡/繁體）顯示

半角模式：8x8點陣 30字符x8 行英數字顯示

FLASH: 可存儲13000個16x16 中文字符

支持USB設備連接 2個USB接口

操作系統：Linux

CPU：32位CPU

SDRAM：32M bytes （可擴展至64M bytes）

FLASH：4M bytes （可擴展至16M bytes）

網絡接口：支持無線網絡協議 IEEE802.3 TCP/UDP/SNMP/Telnet/HTTP/ICMP多種協議，標準10/100 Base-T RJ-45接口

液晶顯示：LED背光設計 240x64 像素 液晶顯示

蜂鳴器：電子蜂鳴器，聲音可調節

串口：一個RS232口

一個可設定RS-485/RS-232接口，D形9針接頭

接口：標準PS2接口，連接鍵盤、掃描槍等設備

功能鍵：8個功能鍵

USB接口：2個USB接口，可連接USB接口設備

輸入輸出：2組數字輸入（DI）、2組數字輸出（DO）

指示燈：LED指示燈指示：電源/運行/網絡/串口

功率：+12VDC @ 1.25A

溫度：工作溫度：0⊥ to 50℃ 儲放溫度：-20℃ to 70℃.

濕度：5~90%