無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)

概述
無(wú)塵室是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施。不對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行嚴(yán)格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費(fèi)寶貴的資源。對(duì)無(wú)塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制 HVAC 系統(tǒng)以及監(jiān)測(cè)室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導(dǎo)體制造商工作的現(xiàn)場(chǎng)工程師希望能夠連續(xù)簡(jiǎn)單地使用 PC-based 無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應(yīng)該能夠收集數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，確保制造過程在可接受的參數(shù)下進(jìn)行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應(yīng)該確保加工過程符合半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) - 一個(gè)非常重要的因素。ADAM-4000 系列遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集和控制硬件以及研華軟件構(gòu)成了一個(gè)全面的無(wú)塵室監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的核心。它們提供了一個(gè)經(jīng)濟(jì)的、易于實(shí)施的網(wǎng)絡(luò)解決方案。地建造該系統(tǒng)。
系統(tǒng)要求
半導(dǎo)體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個(gè)工廠的信息，這些信息通過輪流查詢?cè)儽椴脊S的遠(yuǎn)程傳感器而得到。他們想將一個(gè)新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過程和設(shè)備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設(shè)好的控制系統(tǒng)。即使是主機(jī)斷開或關(guān)閉，系統(tǒng)應(yīng)能夠繼續(xù)運(yùn)行。自然地，制造商想要一個(gè)低成本的解決方案，并且在理想狀況下應(yīng)該是一個(gè)總監(jiān)管系統(tǒng)。
系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)
研華開發(fā)了一個(gè)基于 RS-485（2 線）多點(diǎn)網(wǎng)絡(luò)的解決方案。為保護(hù)無(wú)塵室，系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí)必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風(fēng)扇。ADAM-4050 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項(xiàng)重要任務(wù)。ADAM-4017 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度。整個(gè) RS-485 網(wǎng)絡(luò)連接到一個(gè) ADAM-4500 PC-based 通信控制器，它可以以獨(dú)立模式運(yùn)行系統(tǒng)，即使在主機(jī)斷開或關(guān)閉的情況下。基于 Windows 的 VisiDAQ 3.1 MMI 軟件能夠以其功能強(qiáng)大的、用戶友好的人機(jī)界面使自動(dòng)化系統(tǒng)更加完善。

結(jié)論
集成系統(tǒng)能夠提供連續(xù)不斷的監(jiān)視。能夠?qū)?shù)據(jù)進(jìn)行短期獨(dú)立的監(jiān)控。VisiDAQ 3.1 支持簡(jiǎn)易監(jiān)測(cè)的自動(dòng)化報(bào)表生成。IC 制造商利用其熱插拔功能可以容易地安裝系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)。