半導體圓晶片物理氣相沉積定位控制傳感器

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <br />在物理氣相沉積（PVD）系統中，晶片被放入好幾個小盒中，每次沉積不同的物質。SMU-9000-5u傳感器測量系統安裝在沉積盒內部（如圖）。每個傳感器測量攜帶晶片進入小盒的末端感應器的位置。 <br />目標： <br />保證半導體晶片在物理氣相沉積（PVD）小盒內的精確擺放 <br />避免晶片在小入口處由于沒有對準而導致的破損 <br />保證晶片上的物質層均勻沉積 <br />測量系統的優勢： <br />非接觸高分辨率：1納米 <br />可重復通用：系統有大量傳感器選件 <br />欲了解更多關于產品的信息，請訪問真尚有公司網站 www.51sensors.com <br />