MEMS技術應用于加速度傳感器高頻繼電器(圖)

松下電工控制機器事業本部推出了采用MEMS技術的三款產品，分別是超小型MEMS高頻繼電器、面向車載用途的單軸加速度傳感器、適用于小型數字設備的三軸加速度傳感器。
MEMS繼電器ME-X融合了MEMS和機械繼電器技術，采用精密活動結構和磁回路，大小僅為4.0mm×2.5mm× 1.3mm，同時具有低接觸阻抗、接點間高絕緣性、可在高頻且寬頻帶下使用的機械式繼電器的優點和小型、高效率、可高速開閉的半導體繼電器的優點。繼電器在6GHz時的電阻為50Ω，插入損耗約為0.5dB，隔離度約為28dB，功耗為100mW，可用于IC測試儀、測量儀、BS/地波數字廣播、3G/4G移動電話等產品當中。

GS1型單軸加速度傳感器由精密梳齒結構形成的靜電容量式MEMS傳感器芯片和專用ASIC芯片組成，典型尺寸為6.2mm×8.5mm×1.6mm，檢測靈敏度為 1V/g，綜合精度為±5%FS，溫度變化適應性強、可靠性高，可將溫度所引起的檢測精度的變化控制在最小限度。GS1型加速度觸傳感器可用于汽車導航系統(傾斜檢測、振動檢測、簡易沖擊監視器)和車輛控制(4WD-ABS、ESC等)、液晶投影機、福利型電動升降機等領域。

GS3型三軸加速度傳感器有放大器內置型和無放大器的單體型，可以把施加加速度后所引起的壓電阻變化轉換為電壓變化并輸出。內置型帶有專用ASIC，尺寸為4.6mm×4.6mm× 1.3mm，可承受5000g的沖擊。單體型沒有專用ASIC，典型尺寸為4.6mm×4.6mm×1.0mm，可承受5000g的沖擊，并可與旭化成微系統公司生產的三軸電子羅盤AK8971N相連接。適用于內置HDD的手持設備的跌落保護、液晶畫面的縱橫切換、游戲機、安全設備、機器人、移動電話、GPS導航的姿勢修正、游戲鍵盤操作的簡化等應用。