吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)助力半導(dǎo)體制造分析
測(cè)量需求解決方案企業(yè)美國(guó)吉時(shí)利(Keithley)儀器公司，日前發(fā)布ACS(AutomatedCharacterizationSuite)自動(dòng)特征分析套件集成測(cè)試系統(tǒng)。該測(cè)試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)器件級(jí)、圓片級(jí)和黑盒級(jí)半導(dǎo)體特征分析工作。ACS測(cè)試系統(tǒng)通過統(tǒng)一軟件套件，提供更快測(cè)量速度和更大系統(tǒng)靈活性，以滿足用戶獨(dú)特的測(cè)試應(yīng)用需求。
在統(tǒng)一自動(dòng)特征分析套件中、吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)整合各種測(cè)試硬件，具有全面而獨(dú)特的測(cè)量能力：
·吉時(shí)利強(qiáng)大的4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)具有I-V源測(cè)量功能和專業(yè)脈沖測(cè)試工具包，例如用于先進(jìn)半導(dǎo)體材料測(cè)試的4200-PIV工具包。
·2600系列數(shù)字源表測(cè)試儀具有TSP-Link和測(cè)試腳本處理器(TSP)，可在運(yùn)行狀態(tài)下的NBTI測(cè)試或圓片級(jí)器件特征分析等應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展的I-V通道系統(tǒng)、高速并行測(cè)量和復(fù)雜測(cè)試序列等功能。
·2400系列數(shù)字源表測(cè)試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅(qū)動(dòng)器測(cè)試等領(lǐng)域。
·此外ACS集成測(cè)試系統(tǒng)還為用戶提供可選擇的開關(guān)、C表和脈沖發(fā)生器等附件。
ACS集成測(cè)試系統(tǒng)具備兩類配置：基本臺(tái)式配置，和用于生產(chǎn)環(huán)境集成的全高度機(jī)架式配置。
在統(tǒng)一自動(dòng)特征分析套件中、吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)整合各種測(cè)試硬件，具有全面而獨(dú)特的測(cè)量能力：
·吉時(shí)利強(qiáng)大的4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)具有I-V源測(cè)量功能和專業(yè)脈沖測(cè)試工具包，例如用于先進(jìn)半導(dǎo)體材料測(cè)試的4200-PIV工具包。
·2600系列數(shù)字源表測(cè)試儀具有TSP-Link和測(cè)試腳本處理器(TSP)，可在運(yùn)行狀態(tài)下的NBTI測(cè)試或圓片級(jí)器件特征分析等應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展的I-V通道系統(tǒng)、高速并行測(cè)量和復(fù)雜測(cè)試序列等功能。
·2400系列數(shù)字源表測(cè)試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅(qū)動(dòng)器測(cè)試等領(lǐng)域。
·此外ACS集成測(cè)試系統(tǒng)還為用戶提供可選擇的開關(guān)、C表和脈沖發(fā)生器等附件。
ACS集成測(cè)試系統(tǒng)具備兩類配置：基本臺(tái)式配置，和用于生產(chǎn)環(huán)境集成的全高度機(jī)架式配置。
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