L481111/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐

該真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。

主要技術(shù)指標(biāo)：

1、工作溫度：400～1250℃

2、單點(diǎn)溫度控制精度≤±1℃/24h

3、恒溫區(qū)長(zhǎng)度：≥200mm/±1℃

4、升溫功率：≤5KVA

5、升溫時(shí)間：（室溫至1050℃)≤75min

6、保溫功率：≤3KVA

7、重新定值重復(fù)性：≤±1℃

8、重開(kāi)機(jī)重復(fù)性：≤±1℃

冷態(tài)真空度：≤5 x 10-3Pa（打開(kāi)擴(kuò)散泵門(mén)后15min）

9、爐體傳動(dòng)升降分：自動(dòng)及點(diǎn)動(dòng)，速度無(wú)級(jí)調(diào)速，自動(dòng)燒結(jié)燒結(jié)為0～30min

10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm

11、設(shè)備外形尺寸：1703 x 703 x 2450 (mm)(長(zhǎng) x 寬 x 高）

12、重量：約600Kg

13、工作條件：

(1)環(huán)境溫度：10～45℃

(2)相對(duì)濕度：≤85%

(3)電網(wǎng)電壓：220V ± 10% ～ 380V