非接觸激光測(cè)度儀由專用激光器產(chǎn)生線型光束，以一定的傾角投射到待測(cè)量目標(biāo)上，由于待測(cè)與基板存在高度差，此時(shí)觀測(cè)到的目標(biāo)和基板上的激光束相應(yīng)出現(xiàn)斷續(xù)落差，根據(jù)三角函數(shù)關(guān)系可以用觀測(cè)到的落差計(jì)算出待測(cè)目標(biāo)與周圍基板存在高度差，從而實(shí)現(xiàn)非接觸式的快速測(cè)量。
軟件介紹：1.視頻觀察、圖像保存、厚度測(cè)量、數(shù)據(jù)記錄、背景光、激光亮度控制、面積（方形、不規(guī)則多邊形、圓形）/體積/間距/（X軸、Y軸）/夾角測(cè)量，可記憶24條生產(chǎn)線任意數(shù)量產(chǎn)品
2.根據(jù)指定的產(chǎn)品、生產(chǎn)線和日期范圍進(jìn)行數(shù)據(jù)查詢、修改、刪除、導(dǎo)出（文本和Excel表格）、
打印，能統(tǒng)計(jì)平均值、最大值、最小值、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、不良數(shù)、不良率、偏度、峰度、
Ca、Cp、Cpk、Pp、Ppk，并可繪制、預(yù)覽、打印X-BAR管制圖和R管制圖（其中的管制
參數(shù)可自行設(shè)定）

測(cè)量原理：非接觸式、0.005mm鐳射激光線 測(cè)量精度 ±0.002mm 重復(fù)測(cè)量精度:±0.004mm
基座尺寸:324mm×320mm 電磁式移動(dòng)平臺(tái)尺寸:230mm×200mm
光線放大倍率:25x 110x(使用時(shí)固定) 照明系統(tǒng):環(huán)形LED無(wú)影光源(PC控制亮度調(diào)節(jié))
測(cè)量光線:可低至5.0μm高精度激光束 測(cè)量軟件SH-110Ⅱ/HSPC2000(英簡(jiǎn)繁Windows2000/XP)