人均超一項專利，十余年間迅速成長為國內集成電路（IC）裝備領域的一流企業。沈陽芯源微電子設備有限公司（以下簡稱沈陽芯源）走出了一條以自主創新為驅動的發展之路。

　　2002年12月，中國科學院沈陽自動化研究所（以下簡稱沈陽自動化所）配合沈陽市渾南區的產業園區規劃，發起創建了沈陽芯源。成立之初，國內的IC裝備行業并不成熟，缺少產業供應鏈和客戶，沈陽芯源成為遼沈地區IC裝備產業的先鋒之一。

　　回憶最初的歷程，沈陽芯源總經理宗潤福感慨道：“先鋒往往也意味著風險，但我們只做先鋒，避免風險。是‘獻身、求實、協作、創新’的沈陽自動化所精神和科研人員敬業攻關的韌勁，讓公司挺過最初的艱難，一步步實現今天的業績。”

　　創新尋找出路

　　創新是沈陽自動化所精神中的重要一環，而立足自主創新、踏實做好產品則是沈陽芯源謀求發展的出路。

　　宗潤福告訴記者：“沈陽芯源尤為重視創新研發，將創新的種子播撒在每名員工的心中。”沈陽芯源現有員工210人，專利270余項，自主研制的主導產品勻膠顯影設備廣泛應用于發光二極管（LED）、高端封裝等領域，在國內占有率均超過了40%，成為國內第一大供應商。“這樣的成績源于對科技研發的投入和自主創新的良好氛圍。”

　　作為一家從沈陽自動化所孵化的企業，科技創新、攻關克難是沈陽芯源的原始基因。公司成立初期，IC裝備行業一直是國外企業的天下，昂貴的價格給國內企業帶來負擔。

　　“沈陽芯源攻克一個個技術難關，在整機提升的同時，專注于核心部件的國產化，降低了產品的造價與服務成本。”宗潤福說，“設備的國產化不僅提高了沈陽芯源的競爭力，也降低了客戶的成本，從而提高了客戶乃至行業的競爭力，實際上帶動了產業的加工能力，發揮了示范性作用。”

　　如今，我國的IC裝備產業形成北京、上海、沈陽三足鼎立的態勢，其中，沈陽的IC裝備產業發展，就得益于像沈陽芯源這樣自主創新的先鋒企業。

　　形成正向循環

　　回顧發展歷程，宗潤福指出，沈陽芯源利用自身優勢，把握住兩次機遇，成功躋身國內IC裝備領域前列。他說：“由于是沈陽自動化所參股控股企業，沈陽芯源社會形象好、技術起點高，與地方政府也有著天然的信任基礎，合作開展順利，這些為公司把握住機遇奠定了基礎。”

　　2009年，LED市場呈爆發態勢。由于LED產品技術門檻低、投資少，沈陽芯源抓住機遇切入到這一領域。2010年至2011年，沈陽芯源快速成長，年銷售額達到5000萬元，由此成為了一家健康發展的企業。

　　除此之外，在沈陽自動化所的推動下，沈陽芯源參與到國家重大科技專項，使公司步入了新的發展階段。2008年，沈陽芯源和幾家中科院參股企業聯合申報國家重大科技專項，并于2008年12月開始承擔國家重大科技專項“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”，獲撥經費3700萬元。2012年3月，沈陽芯源申報的國家重大科技專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”獲得立項批復，獲經費支持8700萬元。

　　“國家重大科技專項的支持，讓公司搶占了這個朝陽行業的先機，更好地投入到科研、實驗室建設、國際合作等方面。通過成果產業化，一些包括高端封裝領域在內的新產品走向了市場，公司發展形成了正向循環。”宗潤福由衷地感謝沈陽自動化所。

　　善做乘法共贏

　　2013年，芯源銷售額突破1億元，2014年達1.6億元，預計2016年將達2億元。一家規模不大的公司能有這樣的業績，與公司崇尚合作共贏，形成乘法效應密不可分。宗潤福表示：“我們不僅要做加法還要做乘法。”

　　所企互動為公司早期的起步立下汗馬功勞。沈陽芯源與沈陽自動化所及其持股公司新松機器人自動化股份有限公司、沈陽中科博微自動化技術有限公司等單位開展廣泛合作，縮短研制周期。在拓展海外市場上，沈陽芯源也發揮著善于做乘法的精神。在臺灣，沈陽芯源以讓利共贏的精神與代理商合作，打開了市場。

　　做乘法也體現在“一次開發，多次應用”上，這個觀點是曾任沈陽自動化所所長的蔣新松院士在30年前提出的。沈陽芯源繼承了這一傳統，深耕產品品質，規范化的產品為多次應用與業務拓展奠定了基礎。

　　2016年9月，沈陽芯源設計生產的第500臺設備出廠，成為在國內新興半導體制造設備廠家中首個邁過500臺設備出廠門檻的企業，創造了一個新的發展里程碑。