開(kāi)辟集成電路裝備新領(lǐng)域，沈陽(yáng)芯源以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展

　　人均超一項(xiàng)專(zhuān)利，十余年間迅速成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)集成電路（IC）裝備領(lǐng)域的一流企業(yè)。沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)沈陽(yáng)芯源）走出了一條以自主創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)的發(fā)展之路。

　　2002年12月，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所（以下簡(jiǎn)稱(chēng)沈陽(yáng)自動(dòng)化所）配合沈陽(yáng)市渾南區(qū)的產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃，發(fā)起創(chuàng)建了沈陽(yáng)芯源。成立之初，國(guó)內(nèi)的IC裝備行業(yè)并不成熟，缺少產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈和客戶，沈陽(yáng)芯源成為遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)的先鋒之一。

　　回憶最初的歷程，沈陽(yáng)芯源總經(jīng)理宗潤(rùn)福感慨道：“先鋒往往也意味著風(fēng)險(xiǎn)，但我們只做先鋒，避免風(fēng)險(xiǎn)。是‘獻(xiàn)身、求實(shí)、協(xié)作、創(chuàng)新’的沈陽(yáng)自動(dòng)化所精神和科研人員敬業(yè)攻關(guān)的韌勁，讓公司挺過(guò)最初的艱難，一步步實(shí)現(xiàn)今天的業(yè)績(jī)。”

　　創(chuàng)新尋找出路

　　創(chuàng)新是沈陽(yáng)自動(dòng)化所精神中的重要一環(huán)，而立足自主創(chuàng)新、踏實(shí)做好產(chǎn)品則是沈陽(yáng)芯源謀求發(fā)展的出路。

　　宗潤(rùn)福告訴記者：“沈陽(yáng)芯源尤為重視創(chuàng)新研發(fā)，將創(chuàng)新的種子播撒在每名員工的心中。”沈陽(yáng)芯源現(xiàn)有員工210人，專(zhuān)利270余項(xiàng)，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管（LED）、高端封裝等領(lǐng)域，在國(guó)內(nèi)占有率均超過(guò)了40%，成為國(guó)內(nèi)第一大供應(yīng)商。“這樣的成績(jī)?cè)从趯?duì)科技研發(fā)的投入和自主創(chuàng)新的良好氛圍。”

　　作為一家從沈陽(yáng)自動(dòng)化所孵化的企業(yè)，科技創(chuàng)新、攻關(guān)克難是沈陽(yáng)芯源的原始基因。公司成立初期，IC裝備行業(yè)一直是國(guó)外企業(yè)的天下，昂貴的價(jià)格給國(guó)內(nèi)企業(yè)帶來(lái)負(fù)擔(dān)。

　　“沈陽(yáng)芯源攻克一個(gè)個(gè)技術(shù)難關(guān)，在整機(jī)提升的同時(shí)，專(zhuān)注于核心部件的國(guó)產(chǎn)化，降低了產(chǎn)品的造價(jià)與服務(wù)成本。”宗潤(rùn)福說(shuō)，“設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化不僅提高了沈陽(yáng)芯源的競(jìng)爭(zhēng)力，也降低了客戶的成本，從而提高了客戶乃至行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)際上帶動(dòng)了產(chǎn)業(yè)的加工能力，發(fā)揮了示范性作用。”

　　如今，我國(guó)的IC裝備產(chǎn)業(yè)形成北京、上海、沈陽(yáng)三足鼎立的態(tài)勢(shì)，其中，沈陽(yáng)的IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，就得益于像沈陽(yáng)芯源這樣自主創(chuàng)新的先鋒企業(yè)。

　　形成正向循環(huán)

　　回顧發(fā)展歷程，宗潤(rùn)福指出，沈陽(yáng)芯源利用自身優(yōu)勢(shì)，把握住兩次機(jī)遇，成功躋身國(guó)內(nèi)IC裝備領(lǐng)域前列。他說(shuō)：“由于是沈陽(yáng)自動(dòng)化所參股控股企業(yè)，沈陽(yáng)芯源社會(huì)形象好、技術(shù)起點(diǎn)高，與地方政府也有著天然的信任基礎(chǔ)，合作開(kāi)展順利，這些為公司把握住機(jī)遇奠定了基礎(chǔ)。”

　　2009年，LED市場(chǎng)呈爆發(fā)態(tài)勢(shì)。由于LED產(chǎn)品技術(shù)門(mén)檻低、投資少，沈陽(yáng)芯源抓住機(jī)遇切入到這一領(lǐng)域。2010年至2011年，沈陽(yáng)芯源快速成長(zhǎng)，年銷(xiāo)售額達(dá)到5000萬(wàn)元，由此成為了一家健康發(fā)展的企業(yè)。

　　除此之外，在沈陽(yáng)自動(dòng)化所的推動(dòng)下，沈陽(yáng)芯源參與到國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)，使公司步入了新的發(fā)展階段。2008年，沈陽(yáng)芯源和幾家中科院參股企業(yè)聯(lián)合申報(bào)國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)，并于2008年12月開(kāi)始承擔(dān)國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)“凸點(diǎn)封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”，獲撥經(jīng)費(fèi)3700萬(wàn)元。2012年3月，沈陽(yáng)芯源申報(bào)的國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”獲得立項(xiàng)批復(fù)，獲經(jīng)費(fèi)支持8700萬(wàn)元。

　　“國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)的支持，讓公司搶占了這個(gè)朝陽(yáng)行業(yè)的先機(jī)，更好地投入到科研、實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、國(guó)際合作等方面。通過(guò)成果產(chǎn)業(yè)化，一些包括高端封裝領(lǐng)域在內(nèi)的新產(chǎn)品走向了市場(chǎng)，公司發(fā)展形成了正向循環(huán)。”宗潤(rùn)福由衷地感謝沈陽(yáng)自動(dòng)化所。

　　善做乘法共贏

　　2013年，芯源銷(xiāo)售額突破1億元，2014年達(dá)1.6億元，預(yù)計(jì)2016年將達(dá)2億元。一家規(guī)模不大的公司能有這樣的業(yè)績(jī)，與公司崇尚合作共贏，形成乘法效應(yīng)密不可分。宗潤(rùn)福表示：“我們不僅要做加法還要做乘法。”

　　所企互動(dòng)為公司早期的起步立下汗馬功勞。沈陽(yáng)芯源與沈陽(yáng)自動(dòng)化所及其持股公司新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司、沈陽(yáng)中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司等單位開(kāi)展廣泛合作，縮短研制周期。在拓展海外市場(chǎng)上，沈陽(yáng)芯源也發(fā)揮著善于做乘法的精神。在臺(tái)灣，沈陽(yáng)芯源以讓利共贏的精神與代理商合作，打開(kāi)了市場(chǎng)。

　　做乘法也體現(xiàn)在“一次開(kāi)發(fā)，多次應(yīng)用”上，這個(gè)觀點(diǎn)是曾任沈陽(yáng)自動(dòng)化所所長(zhǎng)的蔣新松院士在30年前提出的。沈陽(yáng)芯源繼承了這一傳統(tǒng)，深耕產(chǎn)品品質(zhì)，規(guī)范化的產(chǎn)品為多次應(yīng)用與業(yè)務(wù)拓展奠定了基礎(chǔ)。

　　2016年9月，沈陽(yáng)芯源設(shè)計(jì)生產(chǎn)的第500臺(tái)設(shè)備出廠，成為在國(guó)內(nèi)新興半導(dǎo)體制造設(shè)備廠家中首個(gè)邁過(guò)500臺(tái)設(shè)備出廠門(mén)檻的企業(yè)，創(chuàng)造了一個(gè)新的發(fā)展里程碑。