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      關于我國壓力傳感器市場發展分析

        目前國內的傳感器技術水平從行業整體來講,較之國際水平,確實還有一定的差距。以壓力傳感器而言,我認為國內業界理論水準,跟國際水平并無多大差距,但基礎技術,包括材料技術、制造設備、測試技術和可靠性研究等,與國際水平還是有一定差距。

        從生產設備來講,所有厚膜工藝設備(包括自動絲網印刷機、膜厚非接觸式測試設備、燒結爐、激光修調系統等)都必須從美國、英國、日本等國家進口,金屬管浮子流量計,這些都是國際一流設備,國內不具備生產能力。另外,傳感器是敏感元件,對生產環境要求極高,生產線必須具備凈化廠房。而這一點,國內的生產線亦無法達到要求。以前,我們曾嘗試,將自己設計的一體化陶瓷環、高壓阻系數電子漿料,配方研制完成后,在國內生產,但生產出的產品性能始終無法達到要求。所以,只能到國外委托加工。以設備來講,國內生產線加工的傳感器存在的最大的問題就是時漂和溫漂大。

        我國壓力傳感器市場主要是工業自動化控制領域,和汽車領域。據羅百輝介紹,在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳感器。在國內,西安市是我國笫二個五年計劃里重點發展壓力系列傳感器的重要城市,陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下,由原秦嶺晶體管廠進行技術改造,和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司,為我國擴散硅壓力傳感器生產開創了先河。但MEMS技術和前道硅片制造技術仍控制在外國廠家手里。

        進入九十年代,國際上MEMS技術有了長足的發展,硅片定向微機電加工精度和成品率不斷提高,加上離子注入技術的發展使擴散硅壓力傳感器從技術上有了可靠保證,成本也有所下降。在許多應用領域里,擴散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進了國內壓力傳感器市場的興盛。

        在國外,壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性,抗腐蝕、優良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴散硅壓力傳感器,這也將是必然的發展趨勢。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時,對此作了充分肯定。

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