超純水的生產在過去的二十年間，在成本、環境及品質等因素的驅動下，其供水系統發生了許多變化，特別值得一提的是，目前存在一個明確的方向，就是減少對離子交換工藝的依賴性，以便盡可能減少化學藥品的使用，并提高產水量。有一項重要的事實可以說明該趨勢—反滲透作為陰陽床的替代技術正在普及。

反滲透作為有效的脫鹽技術，其脫鹽率可以達到95~99%。但是，RO對離子的去處效果有一定的限度，一般來說，產水電導率0.5us/cm（2 MOhm-cm）是其脫鹽的極限。

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