中微半導體設備有限公司（AMEC，以下簡稱“中微”）、 國家集成電路產業投資基金股份有限公司和蘇州聚源東方投資基金中心宣布已完成對沈陽拓荊科技有限公司（以下簡稱“拓荊”）的投資，投資總額為2.7億元人民幣。本輪投資之后，三方將成為拓荊的重要股東。

作為國內領先的CVD設備供應商，拓荊由中國科學院所屬公司和一批海外歸國的技術專家于2010年共同創立。公司主要致力于研發生產創新、先進的化學氣相沉積設備（CVD），幫助全球的半導體制造商生產集成電路器件，推動消費類和工業電子產品的發展。拓荊的PECVD設備已在中國兩家客戶生產線上通過量產驗證，并接到了重復訂單。

本輪投資將幫助拓荊加速成為全球一流的CVD設備供應商，更好地為全球半導體制造商服務。利用中微遍布全球的銷售和客戶支持網絡、供應鏈，以及先進的生產制造系統，拓荊能夠更高效地研發生產先進的CVD設備并加快產業化，同時能夠大幅節約成本。對中微來說，這一舉措意味著在向全球客戶提供卓越的刻蝕產品的同時，可搭配極具競爭優勢的薄膜技術。雙方都將迎來新的發展機遇，同時拓展各自的應用領域。

中微首席運營官杜志游博士稱本輪投資是中微發展戰略中重要的一步，拓荊具備研發合作的所有有利因素。他說道：“我們的目的更多是為了向全球半導體制造商創造更多的價值，使他們在CVD設備供應商領域有更多的選擇。這一點很重要，因為當下持續不斷的兼并整合使得半導體制造商在選擇設備供應商的時候選擇越來越有限。通過此次聯合投資，拓荊能夠進一步發揮它在CVD技術領域的專長，能與中微一起服務好全球客戶。我們很高興參與其中。”

拓荊科技董事長和創始人姜謙博士指出，本輪融資不僅為拓荊下一階段的發展注入新的資金動力， 更重要的是這次的注資來自國家集成電路產業投資基金、中微半導體設備有限公司和蘇州聚源東方投資基金。這必將促使我們成為未來中國半導體設備產業發展的戰略伙伴。“拓荊非常榮幸和感謝能夠得到大基金、中微和蘇州聚源的大力支持。這次融資將主要用于新市場和新產品的開發，使拓荊更大限度的展現其薄膜沉積設備的優勢，為客戶在生產成本，客制工藝開發，全套的技術支持等方面提供最高的價值。”姜謙博士補充說，“拓荊的薄膜設備和中微的刻蝕設備從產品，技術，和市場都是互補的。雙方之前已有多方面的合作，這次中微入資將更進一步強化已有的密切合作關系，為客戶提供更高層次的服務和價值。”