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傳感器產業發展新動向

  傳感器(Sensor)技術(Technology)是現代科技的前沿技術,傳感器產業也是國內外公認的具有發展前途的高技術產業,它以其技術含量高、經濟效益好、滲透能力強、市場前景廣等特點為世人矚目。
  我國自動化方面的專家呼吁:目前復雜系統越來越復雜,自動化已經陷入低谷,其主要原因之一是傳感技術的落后,一方面表現為傳感器在感知信息方面的落后;另一方面也表現為傳感器自身在智能化和網絡化方面的技術落后。
  分析儀器產業迫切需要新型傳感器。分析儀器是我國科技、經濟和社會持續發展的基礎,無論在工業過程控制、設施農業、生物醫學、環境控制、食品安全乃至航空航天、國防工程等領域,均迫切需要各類新型傳感器作為信息攝取源的小型化、專用化、簡用化、家庭化(甚至個人化)的新一代分析儀器,實現更靈敏、更準確、更快速、更可靠地實時檢測,以迅速改變我國分析儀器的落后狀況。
  而技術推動是加速傳感器技術發展的保證和機遇。幾十年來,以微電子技術為基礎,促進了傳感器技術的發展。未來10~20年,傳統硅技術將進入成熟期(預測為2014年~2017年)。屆時,直徑300mm硅晶片將大量用于生產,使得硅的低成本制造技術和硅的應用(Application)技術將得到空前的發展,這無疑將為研制生產微型傳感器、智能傳感器等新型傳感器提供技術保障。從總體發展看,傳統硅技術將一直延續到2047年(即晶體管發明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)和衰退。而當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎規律走下去,在盡力逼近傳統硅技術極限中,不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如MEMS等)和突破“非穩態物理器件”(量子、分子器件),而上述微電子技術發展中的兩大方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發展方向。
  同時,多學科、多種高新技術的交叉融合,推動了新一代傳感器的誕生與發展。例如:我國重點開發的MEMS(微電子與微機械的結合)、MOMES(MEMS與微光學的結合)、智能傳感器(MEMS與CPU、信息控制技術的結合)、生物化學傳感器(MEMS與生物技術、電化學的結合)等以及今后將大力開發的網絡化傳感器(MEMS網絡技術的結合)、納米傳感器 (納米技術與傳感技術的結合)均是多學科、多種學科技術交叉融合的新一代傳感器。

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