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      長野計(jì)器新型壓力傳感器問世,振動(dòng)板上采用獨(dú)特的金屬玻璃

      長野計(jì)器推出了通過使用非晶質(zhì)金屬玻璃使靈敏度比原來提高4倍的新型壓力傳感器。金屬玻璃通過射出成形作為振動(dòng)板使用(壓力檢測(cè)元件),通過在振動(dòng)板上蒸鍍應(yīng)變片作為壓力傳感模塊來工作。由于靈敏度得到提高,因此,不僅是在精密油壓制動(dòng)、或者提高了燃料噴射壓的低環(huán)境負(fù)荷型柴油發(fā)動(dòng)機(jī)等汽車領(lǐng)域,而且在以檢測(cè)工廠空氣壓為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域也可廣泛使用。
      金屬玻璃由日本東北大學(xué)金屬材料研究所教授井上明久開發(fā),長野計(jì)器采用了鋯基和鎳基兩種金屬玻璃。與現(xiàn)有壓力傳感器的振動(dòng)板使用的不銹鋼SUS630相比,拉伸強(qiáng)度高達(dá)其1.5~2.5倍,而楊氏模量卻只有其1/2~3/4。也說是說,金屬玻璃具有高強(qiáng)度、低楊氏模量的特點(diǎn),作為壓力傳感器使用,“高強(qiáng)度可提高耐壓性能,低楊氏模量可提高靈敏度”。
      振動(dòng)板的加工方法方面,原來的SUS630采用切削,而新型金屬玻璃則是射出成形。應(yīng)變片由蒸鍍而成、檢測(cè)壓力的部分最薄,厚度在1mm以下。“雖然變減薄后靈敏度會(huì)提高,但是對(duì)壓力的線性則會(huì)變差”,因此不能太薄。
      目前已經(jīng)開發(fā)出了在壓力傳感器模塊中配備可將檢測(cè)到的壓力轉(zhuǎn)換為電流的電路的壓力轉(zhuǎn)換器,成本與量產(chǎn)產(chǎn)品差不多。

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