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長野計器新型壓力傳感器問世,振動板上采用獨特的金屬玻璃

長野計器推出了通過使用非晶質金屬玻璃使靈敏度比原來提高4倍的新型壓力傳感器。金屬玻璃通過射出成形作為振動板使用(壓力檢測元件),通過在振動板上蒸鍍應變片作為壓力傳感模塊來工作。由于靈敏度得到提高,因此,不僅是在精密油壓制動、或者提高了燃料噴射壓的低環境負荷型柴油發動機等汽車領域,而且在以檢測工廠空氣壓為主的產業領域也可廣泛使用。
金屬玻璃由日本東北大學金屬材料研究所教授井上明久開發,長野計器采用了鋯基和鎳基兩種金屬玻璃。與現有壓力傳感器的振動板使用的不銹鋼SUS630相比,拉伸強度高達其1.5~2.5倍,而楊氏模量卻只有其1/2~3/4。也說是說,金屬玻璃具有高強度、低楊氏模量的特點,作為壓力傳感器使用,“高強度可提高耐壓性能,低楊氏模量可提高靈敏度”。
振動板的加工方法方面,原來的SUS630采用切削,而新型金屬玻璃則是射出成形。應變片由蒸鍍而成、檢測壓力的部分最薄,厚度在1mm以下。“雖然變減薄后靈敏度會提高,但是對壓力的線性則會變差”,因此不能太薄。
目前已經開發出了在壓力傳感器模塊中配備可將檢測到的壓力轉換為電流的電路的壓力轉換器,成本與量產產品差不多。

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